在全彩設(shè)備的四條新線,全面上馬的時(shí)候,光電科研的另一個(gè)項(xiàng)目,也悄悄啟動(dòng)了。
甘肅省平?jīng)隹h,某研究所。
“所長(zhǎng),光電科研的小成,給我們打了一個(gè)電話,詢問15微米光刻機(jī)的事情。”
“咦他們的cd產(chǎn)線,要用到這么高精度的光刻機(jī)了嗎”
作為精密光機(jī)的股東之一,研究所對(duì)光電及其下屬的全彩,動(dòng)向還是十分了解的。
國(guó)內(nèi)的半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè),在這段時(shí)間全都吃了個(gè)飽。但也有個(gè)別細(xì)分行業(yè)是例外。光刻機(jī)這個(gè)細(xì)分行業(yè)就是其中之一。
cd用大尺寸低精度光刻機(jī),都被精密光機(jī)給截留了。研究所在92年,只能靠一些ed行業(yè)升級(jí)訂單維持,與去年的熱鬧景象,完全不能比較了。
看著兄弟單位紅紅火火的局面,要說不羨慕是不可能的。接到了消息,大家本能的反應(yīng)就是,我們的機(jī)會(huì)來(lái)了啊
精密光機(jī)畢竟底蘊(yùn)不足,從10微米,步進(jìn)到5微米,已經(jīng)是他們?cè)诙潭桃荒陼r(shí)間里能取得的最大成就。
“不是的。他們想上一條小規(guī)模的晶圓廠,主要目的是生產(chǎn)cd驅(qū)動(dòng)芯片。這條產(chǎn)線的技術(shù)指標(biāo)是2微米,3寸晶圓。”
“噢。這樣啊。沒有問題啊。”
15微米的光刻機(jī),研究所85年就開發(fā)出來(lái)了,技術(shù)非常成熟。
雖然有些失望,但有總比沒有好。這兩年,除了ed和cd產(chǎn)業(yè)產(chǎn)生的額外訂單以外,真正來(lái)自半導(dǎo)體本身的訂單,是少之又少。它甚至少到,都快被大家遺忘的程度了。
“他還在問我們的08微米光刻機(jī)是否可以在93年面世。”
“他們這是準(zhǔn)備做什么為什么要問08微米光刻機(jī)的事情”
研究所也有后續(xù)精度光刻機(jī)的研發(fā)計(jì)劃,但受困于資金,進(jìn)展始終不快。從85年算起,到現(xiàn)在7年了,升級(jí)換代產(chǎn)品一直沒有出來(lái)。
不過隨著時(shí)間的推移,技術(shù)也在慢慢進(jìn)步,08微米的光刻機(jī),已經(jīng)看見曙光。大家努努力,還是有可能在93年面世。原歷史,94年面世
“他說,光電有個(gè)技術(shù)進(jìn)步路線圖,他不僅僅是要上08微米,而且希望在94年,最遲95年能看到05微米光刻機(jī)。”