tft的加工工藝,與晶圓沒有原理上的本質區別。每一次光刻,成膜,清洗,涂光阻膠,曝光,顯影,烘干,蝕刻,去光阻膠,檢查,都要走一遍。
目前的tft加工工藝,采用的是七次光刻的工藝。也就是基板需要通過七次光刻,才能完成加工。
而在晶圓芯片的加工過程中,幾十次的光刻,是最少的了。這也是為什么晶圓廠的成品率很難提高的緣故。步驟越多,總成品率就越低。
小成,如果你有好的技術,就趕緊拿出來吧?!?br/>
白學成也在一邊加入了戰團,進行勸說。
好吧?!?br/>
成永興猶豫了一下,但還是妥協了。這個技術,他是準備保留到下一代的。在歷史上,五步光刻法,要過幾年才會出現。
會議很快就轉向了其它議題。
例如國產原料的送檢等。但這些不影響主要進度。
有,不錯,沒有,也不怎么值得大家關心。
從全彩員工的角度看,這些都是供應商,用誰的不是用?用國產原料,反而是給大家添麻煩。
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會后,白學成和成永興,王青山三個人到小會議室閑坐。
隨著產線的全線調通,大家的心情,也就慢慢放松了下來。
劉民學最后還是接任了《光電設備》的總經理,但他不怎么來冰城,所以他的那個總經理,只是個掛名。
好在幾家下屬設備廠,完全可以獨立工作,有沒有這個上級單位,也沒有太大關系。
冰城的光電設備本部,又重建了一套獨立的管理班子,周強等一批人,從其他兄弟單位調動了過來。
我們的顯示基地計劃,一直還沒有批下來?!?br/>